• U 形管真空計：用以測量粗真空和低真空的絕對真空計。在 U 字形的玻璃管中充以低蒸氣壓的油、汞等工作液，管的一端被抽成真空或直接通大氣，另一端接被測真空系統(tǒng)，根據(jù)兩邊管中的壓差所造成的液柱差可測出被測真空系統(tǒng)的壓力。

  

壓縮式真空計：又稱麥克勞真空計，是一種測量低真空和高真空的絕對真空計。一般用硬質(zhì)玻璃制成，通過活塞操作使汞儲存器中的汞上升，將氣體隔成兩個區(qū)域并進(jìn)行壓縮，根據(jù)玻璃容器體積、毛細(xì)管高度和汞柱高度差，利用玻意耳定律算出被測壓力，測量精度較高。

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• 電阻真空計：又稱皮喇尼真空計，是一種測量低真空的相對真空計，主要由電阻式規(guī)管和測量線路兩部分組成。規(guī)管內(nèi)封裝著電阻溫度系數(shù)較大的鎢或鉑絲，測量時，規(guī)管與被測真空系統(tǒng)相接，用電壓、電流加熱電阻絲，其表面溫度與周圍氣體分子熱傳導(dǎo)有關(guān)，而氣體分子熱傳導(dǎo)又與壓力有關(guān)，根據(jù)電阻值大小可測量出壓力。

  

• 熱陰極電離真空計：通稱電離真空計，主要用于高真空測量，由圓筒式熱陰極電離規(guī)管和測量線路兩部分組成。規(guī)管有陰極、螺旋形柵極和圓筒形收集極三個電極，測量時，規(guī)管與被測真空系統(tǒng)相連，通電后熱陰極發(fā)射電子，與管內(nèi)空間的低壓氣體分子碰撞使氣體分子電離，在被測氣體壓力低于 10-1 帕的狀況下，當(dāng)電子流恒定時，離子流與被測真空系統(tǒng)中的氣體分子密度成正比，因此離子流大小可作為壓力的度量。

  

• 冷陰極電離真空計：一種測量高真空的相對真空計，由電離規(guī)管和測量線路兩部分組成。規(guī)管一般由兩塊平行的陰極、一個環(huán)形的陽極和產(chǎn)生磁場的磁鋼構(gòu)成，在正交電場和磁場的作用下，由低壓氣體分子電離產(chǎn)生的放電電流是被測壓力的函數(shù)，放電電流大小可作為壓力的度量。